可用于MEMS元件的封装技术

三菱电机于2015年6月11日推出了二维光纤激光加工机“ML 015eX-F40”（右图），可满足从薄板到厚板的板金加工需求。新产品是在CO2激光加工机主力产品“eX”系列的基础上，配备了输出功率为4kW的纤维激光振荡器，缩短了加工时间，并提高了节能性和操作性。

新机型在板厚 mm的不锈钢加工中使用高速激光切割技术“F-CUT”。该技术可配合轴移动来同步激光束的开关，省去了轴移动的停止时间。与不使用该技术时相比，可将加工时间缩短50％。此外还采用了能快速完成加工前准备工作的控制技术。凭借该技术，加工开始前的准备工作时间比二维CO2激光加工机的以往机型“ML 015eX-45CF-R”最大减少50％，可提高运转效率。

在切割最大板厚为25mm的软钢时，通过选配为中厚板及厚板优化过的控制及加工技术，可实现与CO2激光加工机同等的切割面粗度和锥度。另外，该选配技术中还包括在板厚为12～25mm的软钢加工中以短时间实现穿孔的“高峰穿孔技术（High Peak Pierce）”。利用该技术，可使板厚25mm的软钢的穿孔时间最大缩短50％。

新机型除了振荡效率出色的纤维激光振荡器之外，还配备了高效率伺服电机、伺服放大器、逆变器控制冷却装置等，耗电量可比以往机型减少约60％。并且，如果设定分阶段停止各项功能的“节能模式”，最大可将待机时的耗电量减少70%。此外还配备了电力及气体消耗量监视器，使电力及气体的使用量实现了可视化，有助于节能。

另外，为了提高操作性，还以不依赖于操作者的熟练度、实现直观易操作性为目标下了一番工夫存。能够一边观察加工状态一边通过简单操作来修正加工条件。由于能够细致估计包含准备工作在内的加工时，因此可轻松制定生产计划。

X、Y、Z轴的行程为 100mm、1565mm、150mm，快速进给速度为最大140m/min.。最大加工板厚为软钢25mm（使用选配的软钢厚板切割功能时）、不锈钢20mm、铜6mm、铝合金15mm、黄铜12mm。新产品的价格为1.57亿日元（不含税）。 （记者：松田 千穗）舒筋活血通络止痛的中草药

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