用以提升分辨率

模具加工设备/配件2020年02月10日
液体镜头(Liquid lenses)已经被应用在沉浸式微影设备,用以提升分辨率,但该种镜头中不受控制的空气液滴(air droplets),必须以人工对焦;现在,美国伦斯勒理工学院(Rensselaer Polytechnic Institute,RPI)开发出一种新式液体镜头,能通过超小型的微流体活塞(microfluidic pistons)以电气方式调整焦距,不须外加零件。

伦斯勒理工学院表示,他们所开发的电磁式液体镜头适合各种精密影像应用,包括沉浸式微影、人工视网膜,以及手机用的超低功耗摄影机;这项技术是该校教授Amir Hirsa的研究成果,他以磁场小心翼翼地震荡饱含铁纳米粒子的流体液滴,液滴内部的流体就会像帮浦活塞一样被上下抽吸,并因此能进行液体镜头的对焦,所需的功耗甚至低于采用微机电系统组件(MEMS)的方案。

因为磁场是由交流电所产生,镜头会在最近与最远的焦距之间不断循环;但研究人员表示,利用软件算法能轻易地排除任何失焦的画面。在其实际试验过程中,研究团队能达到每秒 0帧画面(frame-per-second)的概念验证影像。

上述实验是在一片固态基板上凿两个孔洞,其中一个放置不透光的铁流体液滴──也就是活塞,另一个孔洞则是放置透明的液体镜头液滴,然后将基板作为隔板、密封在充满水的一个容器中(如图)。当加入电磁脉冲,流体活塞就会在孔洞上下移动;而因为磁力、毛细现象与惯性,另一旁的镜头液滴将会跟着活塞液滴移动,在最近与最远的焦距之间摆荡。
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